將封裝好的器件放入密封實驗箱，將光學干涉儀調(diào)整到觀測封裝的蓋帽。然后將實驗箱抽真空，超聲波檢漏儀同時用光學干涉觀測蓋帽是否變形。在視野內(nèi)，超聲波檢漏儀同時觀測每一只封裝的蓋帽是否隨壓力變化而變化。在減小的壓力下保持時間t1，其蓋帽有無繼續(xù)變形。如果開始時隨著實驗箱壓力改變，未檢測到蓋帽變形，或子啊實驗箱壓力保持恒定的情況下，超聲波檢漏儀檢測到蓋帽變形，則器件粗檢漏不合格，應該拒收。上述程序為光學粗檢漏。
想了解更多關于超聲波檢漏儀，歡迎請點擊：http://www.dhqch.cn/s04/kim-mac/cpxx/20120808/15204487.html
分享到： QQ空間 新浪微博 騰訊微博 人人網(wǎng) 開心網(wǎng) 復制網(wǎng)址 百度貼吧 百度空間 更多
